学术报告(5.25):高杨研究员“体声波传感技术进展”

By: 周新兰, PostTime: 2015/5/25, Visits: 539

时间:2015年5月25日(星期一)上午9:30

地点:理六栋二楼多功能厅

报告题目:体声波传感技术进展

摘要:
近20年来,由于电信业滤波器应用的驱动,基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的体声波(BAW)技术取得了显著的进展,例如BAW滤波器已经占据了手机应用中MEMS器件1/3的市场份额。FBAR具有高灵敏度、高工作频率(GHz)、低功耗、小尺寸、制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。与采用其它MEMS技术的同类传感器相比,基于FBAR的BAW传感器已经取得了更好的传感性能。报告简介了BAW传感器的基本概念、进展、存在的共性问题;以BAW微加速度计为例,介绍了我们在表头结构设计、力敏机理分析方法、微加工工艺流程、可集成读出电路设计等方面开展的部分工作;以集成胎压监测系统(TPMS)为例,展望了BAW技术在物联网应用中兼容多样化的物理量感测、无线通信和振动能量采集功能的通用性及其微系统集成能力。

高杨研究员简介:

高杨 研究员,2000年毕业于北京理工大学电子工程系,或博士学位;2004年上海交通大学电子学与固态电子学博士后流动站出站。现任中国工程物理研究院电子工程研究所科技委委员。主要研究方向为微电子机械系统(MEMS)及其应用。承担863、国防预研、国防基础研究、部级基金等科研项目10余项;获部级一等奖1项(排名2,863计划先进制造领域“十一五”标志性成果、教育部推荐参评国家奖)、部级二等奖1项(排名1)、部级三等奖5项(排名1、1、2、3、4)。授权/申请发明专利25项;第一作者发表学术论文70余篇,其中SCI/EI检索30余篇。已培养硕士22人(其中1人获2012年度“全国优秀共青团员”称号、5人获优秀硕士论文)。主要学术兼职有:中国微米纳米技术学会理事、西南科技大学信息学科兼职教授、中物院机械工程学会微纳米制造技术专委会秘书长、国家科技专家库专家、国家科技部国际科技合作专项评审专家、国家自然科学基金委员会同行评议人、《AIP Advances(SCI)》、《强激光与粒子束(EI)》、《传感技术学报(中文核心)》、《探测与控制学报(中文核心)》、《压电与声光(中文核心)》、《太赫兹科学与电子信息学报(科技核心)》等学术刊物审稿人。